Messeinrichtung zur Messung von Schichtdicken und Fehlstellen eines Waferstapels

EP3514529 Art B1 15. März 2023

Anmelder: EV Group E. Thallner GmbH 🇦🇹

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP3514529
Aktenzeichen
EP19156059
Anmeldetag
12. November 2010
Veröffentlichung
15. März 2023
Erteilung
15. März 2023
Rechtsraum
EP
IPC
G01N29/04G01N29/265G01N29/27G01N29/275G01B7/06G01B15/02G01B17/02G01B21/08H01L21/67G01B11/24G01B11/06H01L21/66// G01N21/95
Offizieller Volltext

Abstract

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

Anmelder

Firma
EV Group E. Thallner GmbH
Land
🇦🇹 Österreich

Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
Vertreten von
Schneider, Sascha Becker & Müller Ratingen, Deutschland
183
Patente gesamt
22
Fachgebiete
8
Anmelder-Länder
Schwerpunkte
Halbleiter & Elektrische Bauelemente Optik & Fototechnik Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik Maschinenelemente & Fluidtechnik Kunststoff- & Polymertechnik
Zum Anwaltsprofil
Kanzlei
Becker & Müller Ratingen, Deutschland

1985 in Ratingen gegründet, firmiert die Kanzlei heute als BeckerMüller Patentanwälte unter Thomas Becker. Getreu dem Motto „Aus Nähe zu Ihnen zum weltweiten Erfolg“ vertritt sie Mandanten vor BGH, Bundespatentgericht und EPA, von mittelständischen Weltmarktführern bis zu Start-ups.

590
Patente gesamt
2
Patentanwälte
1
Standorte
Weitere Vertreter

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