Verfahren und Vorrichtung zur Herstellung eines Parametrisierten Geometrischen Modells einer Struktur und Zugehörige Inspektionsvorrichtung sowie Verfahren
EP3514629
Art A1
24. Juli 2019
Anmelder: ASML Netherlands B.V. 🇳🇱
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP3514629
- Aktenzeichen
- EP18152891
- Anmeldetag
- 23. Januar 2018
- Veröffentlichung
- 24. Juli 2019
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- G03F7/20
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- ASML Netherlands B.V.
- Land
- 🇳🇱 Niederlande
🇳🇱
ASML
Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.
3.336 Patente in unserer Datenbank
Fachgebiete
Vertreten von
Broeken, Petrus Henricus Johannes
Veldhoven, Niederlande
88
Patente gesamt
5
Fachgebiete
1
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Schwerpunkte