Freie-Elektronen-Laser und Verfahren zum Erzeugen eines Euv Strahlungsbündels unter Verwendung Desselben

EP3514630 Art B1 22. Juni 2022

Anmelder: ASML Netherlands B.V. 🇳🇱

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP3514630
Aktenzeichen
EP19152558
Anmeldetag
17. Juni 2014
Veröffentlichung
22. Juni 2022
Erteilung
22. Juni 2022
Rechtsraum
EP
IPC
G03F7/20H05H7/04G01J1/26G02B1/06G02B5/20G01J1/04G21K1/10H01S3/09G01J1/42G02B26/02H01S3/00
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
ASML Netherlands B.V.
Land
🇳🇱 Niederlande
🇳🇱 ASML

Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.

3.336 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Elektrische Energietechnik Elektronik & Schaltungstechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik
Vertreten von
Slenders, Petrus J. W Eindhoven, Niederlande
275
Patente gesamt
19
Fachgebiete
3
Anmelder-Länder
Schwerpunkte
Optik & Fototechnik Elektronik & Schaltungstechnik Elektrische Energietechnik Akustik, Musik & Datenspeicherung Nachrichtentechnik & Telekommunikation Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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