Zusammensetzungen und Verfahren zur Abscheidung von Siliciumoxidfilmen

EP3516089 Art B1 20. Dezember 2023

Anmelder: Versum Materials US, LLC 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP3516089
Aktenzeichen: EP17851528
Anmeldetag: 14. September 2017
Veröffentlichung: 20. Dezember 2023
Erteilung: 20. Dezember 2023
Rechtsraum: EP
IPC: C23C16/40C23C16/455C23C16/50C01B33/12

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Versum Materials US, LLC
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Versum Materials US

Versum Materials US, LLC war ein US-amerikanischer Hersteller von Spezialchemikalien und -gasen für die Halbleiterfertigung, der 2019 von Merck KGaA übernommen wurde. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Halbleiter und elektrische Bauelemente sowie Oberflächentechnik, ergänzt um Farben, Klebstoffe und organische Chemie. Anmeldungen erfolgten zwischen 2002 und 2025.

393 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Anorganische Chemie & Werkstoffe Metallurgie & Oberflächentechnik

Vertreten von