Vorrichtung zu Aberrationskorrektur und Elektronenmikroskop mit Dieser Vorrichtung

EP3518269 Art B1 12. August 2020

Anmelder: Jeol Ltd. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP3518269
Aktenzeichen: EP19153107
Anmeldetag: 22. Januar 2019
Veröffentlichung: 12. August 2020
Erteilung: 12. August 2020
Rechtsraum: EP
IPC: H01J37/153

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Jeol Ltd.
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 JEOL

Japanisches Unternehmen mit Sitz in Tokio, das wissenschaftliche und industrielle Präzisionsgeräte entwickelt, darunter Elektronenmikroskope, Analysegeräte und Halbleiterfertigungsanlagen.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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