Rasterelektronenmikroskop und Messverfahren

EP3518271 Art A1 31. Juli 2019

Anmelder: Jeol Ltd. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP3518271
Aktenzeichen: EP19153033
Anmeldetag: 22. Januar 2019
Veröffentlichung: 31. Juli 2019
Rechtsraum: EP
IPC: H01J37/28G01N1/32H01J37/305

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Jeol Ltd.
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 JEOL

Japanisches Unternehmen mit Sitz in Tokio, das wissenschaftliche und industrielle Präzisionsgeräte entwickelt, darunter Elektronenmikroskope, Analysegeräte und Halbleiterfertigungsanlagen.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik

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