Optische Nahfeldmetrologie
EP3519762
Art A2
7. August 2019
Anmelder: KLA-Tencor Corporation 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP3519762
- Aktenzeichen
- EP17856951
- Anmeldetag
- 10. Juli 2017
- Veröffentlichung
- 7. August 2019
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- G03F7/20G01B11/02G01B9/02
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- KLA-Tencor Corporation
- Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
KLA Corporation
US-amerikanisches Unternehmen (frühere Firmierung KLA-Tencor), das Prozesskontroll- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung entwickelt.
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