Verfahren zur Herstellung einer Vernetzten Schicht

EP3528045 Art A1 21. August 2019

Anmelder: IMEC vzw, Katholieke Universiteit Leuven KU Leuven Research & Development 🇧🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP3528045
Aktenzeichen: EP18157203
Anmeldetag: 16. Februar 2018
Veröffentlichung: 21. August 2019
Rechtsraum: EP
IPC: G03F7/00

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: IMEC vzw
Katholieke Universiteit Leuven KU Leuven Research & Development
Land: 🇧🇪 Belgien

🇧🇪 KU Leuven Research & Development

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Fachgebiete

Optik & Fototechnik

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