System und Verfahren zum Präparieren von Integrierten Schaltungen zur Untersuchung der Rückseite unter Verwendung Geladener Teilchenstrahlen
EP3528277
Art A3
20. November 2019
Anmelder: FEI Company 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP3528277
- Aktenzeichen
- EP19153236
- Anmeldetag
- 23. Januar 2019
- Veröffentlichung
- 20. November 2019
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01J37/304G01R31/28H01J37/305
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- FEI Company
- Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
FEI Company
US-amerikanischer Hersteller von Elektronenmikroskopen und wissenschaftlichen Bildgebungssystemen, seit 2016 Teil von Thermo Fisher Scientific. Patente betreffen Elektronen- und Ionenmikroskopie sowie Materialanalyse.
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Weitere Vertreter
-
Boult Wade Tennant LLP
Boult Wade Tennant LLP · London