Druckregelventil, Flüssigkeitshandhabungsstruktur für Lithografische Vorrichtung und Lithografische Vorrichtung

EP3529665 Art B1 13. April 2022

Anmelder: ASML Netherlands B.V. 🇳🇱

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP3529665
Aktenzeichen
EP17768142
Anmeldetag
18. September 2017
Veröffentlichung
13. April 2022
Erteilung
13. April 2022
Rechtsraum
EP
IPC
G03F7/20F01D17/14F01D17/16F02B37/18G05D7/00G05D7/01F16K31/00H02N2/04F16K1/42F16K37/00G05D16/20
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
ASML Netherlands B.V.
Land
🇳🇱 Niederlande
🇳🇱 ASML

Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.

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Fachgebiete

Elektrische Energietechnik Energie- & Antriebstechnik (Kraftmaschinen) Maschinenelemente & Fluidtechnik Optik & Fototechnik Steuerungs- & Regelungstechnik
Vertreten von
Dung, Shiang-Lung Veldhoven, Niederlande
20
Patente gesamt
6
Fachgebiete
1
Anmelder-Länder
Schwerpunkte
Optik & Fototechnik Maschinenelemente & Fluidtechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente Energie- & Antriebstechnik (Kraftmaschinen) Steuerungs- & Regelungstechnik Elektrische Energietechnik
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