Vorrichtung zum Bewegen eines Objekts in Und/oder aus einem Gehäuse
EP3529668
Art A1
28. August 2019
Anmelder: ASML Netherlands B.V. 🇳🇱
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP3529668
- Aktenzeichen
- EP17788148
- Anmeldetag
- 9. Oktober 2017
- Veröffentlichung
- 28. August 2019
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- G03F7/20
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- ASML Netherlands B.V.
- Land
- 🇳🇱 Niederlande
🇳🇱
ASML
Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.
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Fachgebiete
Vertreten von
Ketting, Alfred
Eindhoven, Niederlande
40
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8
Fachgebiete
2
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ASML Netherlands B.V · Veldhoven