Verfahren und Vorrichtung zur Atomsondentomographie

EP3531438 Art B1 21. Oktober 2020

Anmelder: IMEC vzw 🇧🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP3531438
Aktenzeichen: EP18157918
Anmeldetag: 21. Februar 2018
Veröffentlichung: 21. Oktober 2020
Erteilung: 21. Oktober 2020
Rechtsraum: EP
IPC: H01J37/285H01J37/22

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: IMEC vzw
Land: 🇧🇪 Belgien

🇧🇪 imec

Imec ist ein belgisches Forschungszentrum mit Sitz in Leuven, das auf Nanoelektronik, Halbleitertechnologie und digitale Technologien spezialisiert ist.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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