Vorläufer und Fliessfähige Cvd-Verfahren zur Herstellung von Filmen mit Niedrigem K-Wert zum Füllen von Oberflächenmerkmalen

EP3535436 Art B1 12. Mai 2021

Anmelder: Versum Materials US, LLC 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP3535436
Aktenzeichen: EP17867890
Anmeldetag: 25. Oktober 2017
Veröffentlichung: 12. Mai 2021
Erteilung: 12. Mai 2021
Rechtsraum: EP
IPC: H01L21/02C23C16/30C23C16/40C23C16/50C23C16/48C09D183/16C08G77/62C23C16/04C23C16/34C23C16/36C23C16/56

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Versum Materials US, LLC
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Versum Materials US

Versum Materials US, LLC war ein US-amerikanischer Hersteller von Spezialchemikalien und -gasen für die Halbleiterfertigung, der 2019 von Merck KGaA übernommen wurde. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Halbleiter und elektrische Bauelemente sowie Oberflächentechnik, ergänzt um Farben, Klebstoffe und organische Chemie. Anmeldungen erfolgten zwischen 2002 und 2025.

393 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Farben, Klebstoffe & Brennstoffe Halbleiter & Elektrische Bauelemente Kunststoff- & Polymertechnik Metallurgie & Oberflächentechnik

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