Vakuumpumpe, Wobei der Träger eines Wälzlagers eine Veränderbare Steifigkeit Und/oder Dämpfungswirkung Hat
EP3536965
Art B1
22. September 2021
Anmelder: PFEIFFER VACUUM GMBH 🇩🇪
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP3536965
- Aktenzeichen
- EP18159918
- Anmeldetag
- 5. März 2018
- Veröffentlichung
- 22. September 2021
- Erteilung
- 22. September 2021
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- F04D19/04F04D29/059F04D29/66F04D27/02
Abstract
Die Erfindung betrifft einer Vakuumpumpe, insbesondere Turbomolekularpumpe, mit einem Gehäuse, und einem in dem Gehäuse drehbar gelagerten Rotor, der zu einer Drehung antreibbar ist, die eine Förderung eines Prozessgases von einem Einlass zu einem Auslass der Vakuumpumpe bewirkt, wobei der Rotor in dem Gehäuse zumindest einseitig durch ein Wälzlager drehbar gelagert ist, und wobei eine Steifigkeit und/oder eine Dämpfungswirkung des Wälzlagers veränderbar ist.
Anmelder
- Firma
- PFEIFFER VACUUM GMBH
- Land
- 🇩🇪 Deutschland
🇩🇪
Pfeiffer Vacuum
Deutsches Unternehmen, das Vakuumpumpen und Vakuumtechnik für Industrie, Forschung und Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt.
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