Verfahren zur Bestimmung der Form einer Probenspitze für die Atomsondentomografie durch ein Rastersondenmikroskop und Rastersondenmikroskop zur Anwendung Dieses Verfahrens

EP3537161 Art B1 19. Oktober 2022

Anmelder: IMEC vzw 🇧🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP3537161
Aktenzeichen: EP18160678
Anmeldetag: 8. März 2018
Veröffentlichung: 19. Oktober 2022
Erteilung: 19. Oktober 2022
Rechtsraum: EP
IPC: G01Q10/06H01J37/285

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: IMEC vzw
Land: 🇧🇪 Belgien

🇧🇪 imec

Imec ist ein belgisches Forschungszentrum mit Sitz in Leuven, das auf Nanoelektronik, Halbleitertechnologie und digitale Technologien spezialisiert ist.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik

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