Elektronenmikroskop geeignet zum Einführen einer Beliebigen Aberration

EP3537470 Art B1 9. September 2020

Anmelder: JEOL LTD., Jeol Ltd. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP3537470
Aktenzeichen: EP19160394
Anmeldetag: 1. März 2019
Veröffentlichung: 9. September 2020
Erteilung: 9. September 2020
Rechtsraum: EP
IPC: H01J37/153H01J37/22H01J37/26

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: JEOL LTD.
Jeol Ltd.
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 JEOL

Japanisches Unternehmen mit Sitz in Tokio, das wissenschaftliche und industrielle Präzisionsgeräte entwickelt, darunter Elektronenmikroskope, Analysegeräte und Halbleiterfertigungsanlagen.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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