Scandiumhaltige Iii-N-Ätzstoppchichten zum Selektiven Ätzen von Iii-Nitriden und Entsprechende Materialien

EP3539155 Art A2 18. September 2019

Anmelder: The Government of the United States of America, as represented by the Secretary of the Navy 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP3539155
Aktenzeichen: EP17870039
Anmeldetag: 9. November 2017
Veröffentlichung: 18. September 2019
Rechtsraum: EP
IPC: H01L21/306H01L21/20

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: The Government of the United States of America, as represented by the Secretary of the Navy
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 The Government of the United States of America As Represented By the Secretary of the Navy

Dieser Anmelder steht für Patente der US-Marine, angemeldet über die Regierung der Vereinigten Staaten. Das Patentportfolio deckt breit Halbleiterbauelemente, Mess- und Prüftechnik sowie Optik- und Fototechnik für militärische und maritime Forschung ab. Anmeldungen sind seit 2000 dokumentiert.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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