Verfahren zur Gepulsten Laserabscheidung
EP3540090
Art A1
18. September 2019
Anmelder: Lam Research Corporation, Solmates B.V. 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP3540090
- Aktenzeichen
- EP18161161
- Anmeldetag
- 12. März 2018
- Veröffentlichung
- 18. September 2019
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- C23C14/28
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firmen
- Lam Research Corporation
Solmates B.V. - Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
Lam Research
US-amerikanischer Hersteller von Fertigungsanlagen für die Halbleiterindustrie mit Sitz in Fremont, Kalifornien, spezialisiert auf Ätz- und Beschichtungssysteme (Deposition) für die Chipproduktion.
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Fachgebiete
Kanzlei
Inaday Patent B.V.
Enschede, Niederlande
Niederländische Kanzlei mit dem Versprechen, Ideen bereits innerhalb eines Werktages rechtlich abzusichern („Ieder idee, in één dag beschermd“). Standorte unter anderem in Enschede und Zwolle, arbeitet mit festen, transparenten Preisen statt klassischer Stundenabrechnung.
773
Patente gesamt
2
Patentanwälte
1
Standorte
Weitere Vertreter
-
Mewburn Ellis LLP
Mewburn Ellis LLP · München