Verfahren zur Aberrationsmessung und Elektronenmikroskop

EP3540756 Art B1 17. Juni 2020

Anmelder: Jeol Ltd. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP3540756
Aktenzeichen: EP19158939
Anmeldetag: 22. Februar 2019
Veröffentlichung: 17. Juni 2020
Erteilung: 17. Juni 2020
Rechtsraum: EP
IPC: H01J37/28H01J37/153H01J37/26

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Jeol Ltd.
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 JEOL

Japanisches Unternehmen mit Sitz in Tokio, das wissenschaftliche und industrielle Präzisionsgeräte entwickelt, darunter Elektronenmikroskope, Analysegeräte und Halbleiterfertigungsanlagen.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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