Piezoelektrische Sende- Und/oder Empfangseinrichtung, Vibrationssensor mit einer Solchen Piezoelektrischen Sende- Und/oder Empfangseinrichtung sowie Verfahren zur Herstellung einer Piezoelektrischen Sende- Und/oder Empfangseinrichtung

EP3542405 Art B1 28. Oktober 2020

Anmelder: VEGA Grieshaber KG 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP3542405
Aktenzeichen
EP16798176
Anmeldetag
18. November 2016
Veröffentlichung
28. Oktober 2020
Erteilung
28. Oktober 2020
Rechtsraum
EP
IPC
H01L41/083H01L41/273
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
VEGA Grieshaber KG
Land
🇩🇪 Deutschland
🇩🇪 VEGA Grieshaber

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