Verfahren für Metrologie und Zugehörige Vorrichtungen
EP3543791
Art A1
25. September 2019
Anmelder: ASML Netherlands B.V. 🇳🇱
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP3543791
- Aktenzeichen
- EP18163680
- Anmeldetag
- 23. März 2018
- Veröffentlichung
- 25. September 2019
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- G03F7/20G03F1/86G03F1/84G06T7/73G06T7/13
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- ASML Netherlands B.V.
- Land
- 🇳🇱 Niederlande
🇳🇱
ASML
Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.
3.336 Patente in unserer Datenbank
Fachgebiete
Vertreten von
Peters, John Antoine
Veldhoven, Niederlande
167
Patente gesamt
11
Fachgebiete
1
Anmelder-Länder
Schwerpunkte
Weitere Vertreter
-
ASML Netherlands B.V
ASML Netherlands B.V · Veldhoven