Verfahren zur Herstellung eines Metallstempels zum Prägen einer Nano- Und/oder Mikrostruktur auf einer Metallischen Vorrichtung sowie deren Verwendung und damit Hergestellte Vorrichtungen
Anmelder: CSEM Centre Suisse d'Electronique et de Microtechnique SA, CSEM Centre Suisse d'Electronique et de Microtechnique SA - Recherche et Développement 🇨🇭
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP3547026
- Aktenzeichen
- EP18164630
- Anmeldetag
- 28. März 2018
- Veröffentlichung
- 29. November 2023
- Erteilung
- 29. November 2023
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- G03F7/00
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firmen
- CSEM Centre Suisse d'Electronique et de Microtechnique SA
CSEM Centre Suisse d'Electronique et de Microtechnique SA - Recherche et Développement - Land
- 🇨🇭 Schweiz
CSEM Centre Suisse d'Electronique et de Microtechnique ist ein Schweizer Forschungsinstitut für Mikrotechnik, Elektronik und angewandte Wissenschaften. Der Patentbestand konzentriert sich auf Mess- und Prüftechnik sowie Halbleiter-, Medizin- und Optiktechnik.
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Fachgebiete
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