Vorrichtung zur Axialen Ausrichtung eines Ladungsteilchenstrahls, Ladungsteilchenstrahlbestrahlungsvorrichtung und Verfahren zur Axialen Ausrichtung eines Ladungsteilchenstrahls

EP3547346 Art A3 12. Februar 2020

Anmelder: Shimadzu Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP3547346
Aktenzeichen: EP19164468
Anmeldetag: 21. März 2019
Veröffentlichung: 12. Februar 2020
Rechtsraum: EP
IPC: H01J37/141H01J37/147H01J37/26H01J37/28

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Shimadzu Corporation
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Shimadzu

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Kyoto. Shimadzu entwickelt Analyse- und Messgeräte, medizinische Bildgebungssysteme sowie Komponenten für Luft- und Raumfahrt, Industrie und Wissenschaft.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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