Vorrichtung zur Axialen Ausrichtung eines Geladenen Teilchenstrahls, Teilchenstrahlapparat und Verfahren zur Axialen Ausrichtung eines Teilchenstrahls

EP3547347 Art A1 2. Oktober 2019

Anmelder: Shimadzu Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP3547347
Aktenzeichen: EP19164477
Anmeldetag: 21. März 2019
Veröffentlichung: 2. Oktober 2019
Rechtsraum: EP
IPC: H01J37/147H01J37/28

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Shimadzu Corporation
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Shimadzu

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Kyoto. Shimadzu entwickelt Analyse- und Messgeräte, medizinische Bildgebungssysteme sowie Komponenten für Luft- und Raumfahrt, Industrie und Wissenschaft.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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