Aberrationskorrektor und Ladungsteilchenstrahlvorrichtung

EP3547348 Art B1 10. Januar 2024

Anmelder: JEOL Ltd., Jeol Ltd. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP3547348
Aktenzeichen: EP19164086
Anmeldetag: 20. März 2019
Veröffentlichung: 10. Januar 2024
Erteilung: 10. Januar 2024
Rechtsraum: EP
IPC: H01J37/153

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: JEOL Ltd.
Jeol Ltd.
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 JEOL

Japanisches Unternehmen mit Sitz in Tokio, das wissenschaftliche und industrielle Präzisionsgeräte entwickelt, darunter Elektronenmikroskope, Analysegeräte und Halbleiterfertigungsanlagen.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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