Überlagerungssteuerung mit Vorhersage von Offset Ungleich Null
EP3548971
Art B1
22. Dezember 2021
Anmelder: Kla-Tencor Corporation 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP3548971
- Aktenzeichen
- EP18745244
- Anmeldetag
- 24. Januar 2018
- Veröffentlichung
- 22. Dezember 2021
- Erteilung
- 22. Dezember 2021
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- G03F7/20H01L21/027
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- Kla-Tencor Corporation
- Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
KLA Corporation
US-amerikanisches Unternehmen (frühere Firmierung KLA-Tencor), das Prozesskontroll- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung entwickelt.
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