Extraktorelektrode für Elektronenquelle
EP3549151
Art B1
9. März 2022
Anmelder: Kla-Tencor Corporation 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP3549151
- Aktenzeichen
- EP18741046
- Anmeldetag
- 19. Januar 2018
- Veröffentlichung
- 9. März 2022
- Erteilung
- 9. März 2022
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01J37/065H01J37/073H01J37/28
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- Kla-Tencor Corporation
- Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
KLA Corporation
US-amerikanisches Unternehmen (frühere Firmierung KLA-Tencor), das Prozesskontroll- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung entwickelt.
1.908 Patente in unserer Datenbank