Reduzierte Coulomb-Interaktionen in einer Mehrstrahlensäule
EP3549154
Art A1
9. Oktober 2019
Anmelder: KLA - Tencor Corporation 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP3549154
- Aktenzeichen
- EP18793779
- Anmeldetag
- 12. Januar 2018
- Veröffentlichung
- 9. Oktober 2019
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01J37/09
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- KLA - Tencor Corporation
- Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
KLA Corporation
US-amerikanisches Unternehmen (frühere Firmierung KLA-Tencor), das Prozesskontroll- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung entwickelt.
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