Erzeugung eines Metrologierezepts unter Verwendung Vorhergesagter Metrologiebilder
EP3549158
Art B1
16. August 2023
Anmelder: KLA-TENCOR CORPORATION, Kla-Tencor Corporation 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP3549158
- Aktenzeichen
- EP17884776
- Anmeldetag
- 14. Dezember 2017
- Veröffentlichung
- 16. August 2023
- Erteilung
- 16. August 2023
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- G03F7/20G06T7/00
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firmen
- KLA-TENCOR CORPORATION
Kla-Tencor Corporation - Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
KLA Corporation
US-amerikanisches Unternehmen (frühere Firmierung KLA-Tencor), das Prozesskontroll- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung entwickelt.
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