Aktivierung von Waferpartikeldefekten zur Spektroskopischen Analyse von Zusammensetzungen
EP3549160
Art B1
5. Januar 2022
Anmelder: Kla-Tencor Corporation 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP3549160
- Aktenzeichen
- EP18744003
- Anmeldetag
- 26. Januar 2018
- Veröffentlichung
- 5. Januar 2022
- Erteilung
- 5. Januar 2022
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- G01N21/65G01N21/94G01N21/95// G01N21/64
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- Kla-Tencor Corporation
- Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
KLA Corporation
US-amerikanisches Unternehmen (frühere Firmierung KLA-Tencor), das Prozesskontroll- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung entwickelt.
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