Verfahren zur Kopplung eines Halbleiterbauelements mit einem Zielsubstrat durch Transferdruck

EP3550603 Art B1 18. November 2020

Anmelder: IMEC vzw, Universiteit Gent 🇧🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP3550603
Aktenzeichen
EP18165502
Anmeldetag
3. April 2018
Veröffentlichung
18. November 2020
Erteilung
18. November 2020
Rechtsraum
EP
IPC
H01L23/544H01L21/683H01L33/00
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen
IMEC vzw
Universiteit Gent
Land
🇧🇪 Belgien
🇧🇪 imec

Imec ist ein belgisches Forschungszentrum mit Sitz in Leuven, das auf Nanoelektronik, Halbleitertechnologie und digitale Technologien spezialisiert ist.

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