Organoaminofunktionalisierte Cyclische Oligosiloxane zur Abscheidung von Siliciumhaltigen Folien

EP3553204 Art B1 29. März 2023

Anmelder: Versum Materials US, LLC 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP3553204
Aktenzeichen: EP19168665
Anmeldetag: 11. April 2019
Veröffentlichung: 29. März 2023
Erteilung: 29. März 2023
Rechtsraum: EP
IPC: C23C16/40C23C16/455C07F7/21C08K5/17C09D183/08C08G77/12C08G77/24C08G77/26C08G77/388

Abstract

Organoamino-functionalized cyclic oligosiloxanes, which have at least two silicon and two oxygen atoms as well as an organoamino group and methods for making the organoamino-functionalized cyclic oligosiloxanes are disclosed. Methods for depositing silicon and oxygen containing films using the organoamino-functionalized cyclic oligosiloxanes are also disclosed.

Anmelder

Firma: Versum Materials US, LLC
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Versum Materials US

Versum Materials US, LLC war ein US-amerikanischer Hersteller von Spezialchemikalien und -gasen für die Halbleiterfertigung, der 2019 von Merck KGaA übernommen wurde. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Halbleiter und elektrische Bauelemente sowie Oberflächentechnik, ergänzt um Farben, Klebstoffe und organische Chemie. Anmeldungen erfolgten zwischen 2002 und 2025.

393 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Farben, Klebstoffe & Brennstoffe Kunststoff- & Polymertechnik Metallurgie & Oberflächentechnik Organische Chemie

Vertreten von