Vorrichtung zum Abscheiden vom Polysilicium und Entsprechendes Verfahren
EP3554723
Art B1
30. November 2022
Anmelder: Siltronic AG 🇩🇪
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP3554723
- Aktenzeichen
- EP17746082
- Anmeldetag
- 28. Juli 2017
- Veröffentlichung
- 30. November 2022
- Erteilung
- 30. November 2022
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- B07B1/46B07B4/08B07B13/04B07B13/07B07B13/16
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- Siltronic AG
- Land
- 🇩🇪 Deutschland
🇩🇪
Siltronic
Deutscher Halbleiterzulieferer mit Sitz in München. Siltronic stellt hochreine Siliziumwafer für die Chip- und Elektronikindustrie her.
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