Resist, Resistzusammensetzung und Verfahren zur Bildung einer Resiststruktur

EP3556781 Art B1 2. Juli 2025

Anmelder: Sumitomo Chemical Company, Limited 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP3556781
Aktenzeichen
EP17879787
Anmeldetag
7. Dezember 2017
Veröffentlichung
2. Juli 2025
Erteilung
2. Juli 2025
Rechtsraum
EP
IPC
C08F20/02C08F12/34G03F7/004G03F7/039C08F222/18
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Sumitomo Chemical Company, Limited
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Sumitomo Chemical

Japanischer Chemiekonzern mit Sitz in Tokio, Teil der Sumitomo-Gruppe. Aktiv in Petrochemie, Agrochemie, Pharmazeutika, Elektronikmaterialien, Energiematerialien und Kunststoffen.

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