Resist, Resistzusammensetzung und Verfahren zur Bildung einer Resiststruktur

EP3556783 Art B1 28. Dezember 2022

Anmelder: Sumitomo Chemical Company, Limited 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP3556783
Aktenzeichen: EP17881786
Anmeldetag: 7. Dezember 2017
Veröffentlichung: 28. Dezember 2022
Erteilung: 28. Dezember 2022
Rechtsraum: EP
IPC: C08F220/02C08F212/14G03F7/004G03F7/039C08F220/28

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Sumitomo Chemical Company, Limited
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Sumitomo Chemical

Japanischer Chemiekonzern mit Sitz in Tokio, Teil der Sumitomo-Gruppe. Aktiv in Petrochemie, Agrochemie, Pharmazeutika, Elektronikmaterialien, Energiematerialien und Kunststoffen.

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Fachgebiete

Kunststoff- & Polymertechnik Optik & Fototechnik

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