Vakuumpumpe und Verfahren zum Betreiben Derselben
EP3557071
Art B1
22. September 2021
Anmelder: PFEIFFER VACUUM GMBH 🇩🇪
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP3557071
- Aktenzeichen
- EP18167557
- Anmeldetag
- 16. April 2018
- Veröffentlichung
- 22. September 2021
- Erteilung
- 22. September 2021
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- F04D19/04F04D29/58
Abstract
Vakuumpumpe, insbesondere Turbomolekularpumpe, mit wenigstens einer Pumpenkomponente, mit einer Heizeinrichtung zum Beheizen der Pumpenkomponente und mit einem Sensor zur Erfassung einer Messgröße für den Pumpenbetrieb, wobei der Sensor unabhängig von der Heizeinrichtung angeordnet und die Heizeinrichtung für den Betrieb in Abhängigkeit der durch den Sensor erfassten Messgröße konfiguriert ist.
Anmelder
- Firma
- PFEIFFER VACUUM GMBH
- Land
- 🇩🇪 Deutschland
🇩🇪
Pfeiffer Vacuum
Deutsches Unternehmen, das Vakuumpumpen und Vakuumtechnik für Industrie, Forschung und Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt.
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