Verfahren zum Festklemmen eines Substrats und Klemmenvorbereitungseinheit
EP3557606
Art B1
26. August 2020
Anmelder: ASML Netherlands B.V., Mapper Lithography IP B.V. 🇳🇱
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP3557606
- Aktenzeichen
- EP19169075
- Anmeldetag
- 18. Februar 2010
- Veröffentlichung
- 26. August 2020
- Erteilung
- 26. August 2020
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01L21/00G03F7/00H01L21/67H01L21/677G03F7/20H01L21/683H01L21/687
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firmen
- ASML Netherlands B.V.
Mapper Lithography IP B.V. - Land
- 🇳🇱 Niederlande
🇳🇱
ASML
Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.
3.336 Patente in unserer Datenbank
Vertreten von
Corcoran, Gregory Martin Mason
Veldhoven, Niederlande
102
Patente gesamt
7
Fachgebiete
1
Anmelder-Länder
Schwerpunkte
Weitere Vertreter
-
ASML Netherlands B.V
ASML Netherlands B.V · Veldhoven
-
Hoyng Rokh Monegier LLP
Hoyng Rokh Monegier LLP · Amsterdam