Hohlwellenleiter zur Führung von Euv-Licht mit einer Nutzwellenlänge

EP3559751 Art B1 31. August 2022

Anmelder: Carl Zeiss SMT GmbH 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP3559751
Aktenzeichen: EP17816796
Anmeldetag: 14. Dezember 2017
Veröffentlichung: 31. August 2022
Erteilung: 31. August 2022
Rechtsraum: EP
IPC: G03F7/20G02B6/10F21V8/00

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Carl Zeiss SMT GmbH
Land: 🇩🇪 Deutschland

🇩🇪 Carl Zeiss SMT

Deutsches Unternehmen der Carl Zeiss Gruppe mit Sitz in Oberkochen, das optische Systeme und Lithographieoptiken für die Halbleiterindustrie entwickelt.

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Fachgebiete

Heiz-, Kühl- & Beleuchtungstechnik Optik & Fototechnik

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