Herstellung von Einzigartigen Chips mit einem Lithografiesystem mit mehreren Ladungsträgerteilstrahlen
EP3559752
Art A1
30. Oktober 2019
Anmelder: ASML Netherlands B.V. 🇳🇱
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP3559752
- Aktenzeichen
- EP17884025
- Anmeldetag
- 22. Dezember 2017
- Veröffentlichung
- 30. Oktober 2019
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- G03F7/20H01L21/82H01J37/302H01J37/317
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- ASML Netherlands B.V.
- Land
- 🇳🇱 Niederlande
🇳🇱
ASML
Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.
3.336 Patente in unserer Datenbank
Vertreten von
Corcoran, Gregory Martin Mason
Veldhoven, Niederlande
102
Patente gesamt
7
Fachgebiete
1
Anmelder-Länder
Schwerpunkte
Weitere Vertreter
-
ASML Netherlands B.V
ASML Netherlands B.V · Veldhoven