Herstellung von Einzigartigen Chips mit einem Lithografiesystem mit mehreren Ladungsträgerteilstrahlen

EP3563199 Art A1 6. November 2019

Anmelder: ASML Netherlands B.V. 🇳🇱

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP3563199
Aktenzeichen
EP17848922
Anmeldetag
8. September 2017
Veröffentlichung
6. November 2019
Rechtsraum
EP
IPC
H01J37/302G06F21/73H01J37/317H04L9/08G03F7/20G06F30/39
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
ASML Netherlands B.V.
Land
🇳🇱 Niederlande
🇳🇱 ASML

Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.

3.336 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Nachrichtentechnik & Telekommunikation Optik & Fototechnik Software & Datenverarbeitung
Vertreten von
Peters, John Antoine Veldhoven, Niederlande
167
Patente gesamt
11
Fachgebiete
1
Anmelder-Länder
Schwerpunkte
Optik & Fototechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Steuerungs- & Regelungstechnik Software & Datenverarbeitung Elektrische Energietechnik
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