Durchführungsvorrichtung und Signalleiterbahnanordnung
EP3563456
Art A1
6. November 2019
Anmelder: ASML Netherlands B.V. 🇳🇱
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP3563456
- Aktenzeichen
- EP17816638
- Anmeldetag
- 7. Dezember 2017
- Veröffentlichung
- 6. November 2019
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H02G3/22
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- ASML Netherlands B.V.
- Land
- 🇳🇱 Niederlande
🇳🇱
ASML
Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.
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Fachgebiete
Vertreten von
Corcoran, Gregory Martin Mason
Veldhoven, Niederlande
102
Patente gesamt
7
Fachgebiete
1
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Schwerpunkte
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-
ASML Netherlands B.V
ASML Netherlands B.V · Veldhoven