Vakuumsystem und Verfahren zur Herstellung eines Solchen
EP3564538
Art B1
7. April 2021
Anmelder: PFEIFFER VACUUM GMBH 🇩🇪
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP3564538
- Aktenzeichen
- EP19158341
- Anmeldetag
- 20. Februar 2019
- Veröffentlichung
- 7. April 2021
- Erteilung
- 7. April 2021
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- F04D29/52F04D19/04F04D29/40F04D29/02F04D29/60H01J49/24
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- PFEIFFER VACUUM GMBH
- Land
- 🇩🇪 Deutschland
🇩🇪
Pfeiffer Vacuum
Deutsches Unternehmen, das Vakuumpumpen und Vakuumtechnik für Industrie, Forschung und Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt.
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