Flächenselektive Abscheidung eines Maskenmaterials

EP3570317 Art A1 20. November 2019

Anmelder: IMEC vzw 🇧🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP3570317
Aktenzeichen: EP18173024
Anmeldetag: 17. Mai 2018
Veröffentlichung: 20. November 2019
Rechtsraum: EP
IPC: H01L21/311H01L21/3205// H01L29/66

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: IMEC vzw
Land: 🇧🇪 Belgien

🇧🇪 imec

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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