Komponente für eine Projektionsbelichtungsvorrichtung

EP3571549 Art B1 27. März 2024

Anmelder: Carl Zeiss SMT GmbH 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP3571549
Aktenzeichen: EP18702107
Anmeldetag: 12. Januar 2018
Veröffentlichung: 27. März 2024
Erteilung: 27. März 2024
Rechtsraum: EP
IPC: G03F7/20G02B26/08G02B17/06G02B23/12G02B17/00

Offizieller Volltext

Abstract

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

Anmelder

Firma: Carl Zeiss SMT GmbH
Land: 🇩🇪 Deutschland

🇩🇪 Carl Zeiss SMT

Deutsches Unternehmen der Carl Zeiss Gruppe mit Sitz in Oberkochen, das optische Systeme und Lithographieoptiken für die Halbleiterindustrie entwickelt.

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Fachgebiete

Optik & Fototechnik

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