Verfahren zur Verringerung der Breite von durch Farbabscheidung Erzeugten Strukturen auf Vorstrukturierten Substraten
EP3572873
Art A1
27. November 2019
Anmelder: PAUL SCHERRER INSTITUT 🇨🇭
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP3572873
- Aktenzeichen
- EP18173943
- Anmeldetag
- 24. Mai 2018
- Veröffentlichung
- 27. November 2019
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- G03F7/00H01L27/12H05K3/12H05K3/10
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- PAUL SCHERRER INSTITUT
- Land
- 🇨🇭 Schweiz
🇨🇭
PAUL Scherrer Institut
Das Paul Scherrer Institut ist das größte Forschungszentrum für Natur- und Ingenieurwissenschaften der Schweiz mit Sitz in Villigen und Anbindung an Großforschungsanlagen wie Synchrotron und Freie-Elektronen-Laser. Die Patente betreffen vor allem Mess- und Prüftechnik sowie Halbleiterelemente, ergänzt um Medizintechnik, Verfahrenstechnik und Optik. Anmeldungen erfolgen kontinuierlich seit 2000.
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