Bandbreitenberechnungssystem und Verfahren zum Bestimmen einer Gewünschten Wellenlängenbandbreite für einen Messstrahl in einem Markierungserfassungssystem
EP3572881
Art A1
27. November 2019
Anmelder: ASML Netherlands B.V. 🇳🇱
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP3572881
- Aktenzeichen
- EP18173977
- Anmeldetag
- 24. Mai 2018
- Veröffentlichung
- 27. November 2019
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- G03F9/00
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- ASML Netherlands B.V.
- Land
- 🇳🇱 Niederlande
🇳🇱
ASML
Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.
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Fachgebiete
Vertreten von
Ketting, Alfred
Eindhoven, Niederlande
40
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8
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2
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ASML Netherlands B.V · Veldhoven