Bandbreitenberechnungssystem und Verfahren zum Bestimmen einer Gewünschten Wellenlängenbandbreite für einen Messstrahl in einem Markierungserfassungssystem

EP3572881 Art A1 27. November 2019

Anmelder: ASML Netherlands B.V. 🇳🇱

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP3572881
Aktenzeichen
EP18173977
Anmeldetag
24. Mai 2018
Veröffentlichung
27. November 2019
Rechtsraum
EP
IPC
G03F9/00
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
ASML Netherlands B.V.
Land
🇳🇱 Niederlande
🇳🇱 ASML

Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.

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