Ladungsteilchenstrahlvorrichtung und Bilderfassungsverfahren

EP3573086 Art A1 27. November 2019

Anmelder: Jeol Ltd. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP3573086
Aktenzeichen: EP19176244
Anmeldetag: 23. Mai 2019
Veröffentlichung: 27. November 2019
Rechtsraum: EP
IPC: H01J37/244H01J37/28G01N23/00G06T11/00

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Jeol Ltd.
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 JEOL

Japanisches Unternehmen mit Sitz in Tokio, das wissenschaftliche und industrielle Präzisionsgeräte entwickelt, darunter Elektronenmikroskope, Analysegeräte und Halbleiterfertigungsanlagen.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Software & Datenverarbeitung

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