Elektronenstrahlvorrichtung, Prüfwerkzeug und Prüfverfahren
EP3576128
Art A1
4. Dezember 2019
Anmelder: ASML Netherlands B.V. 🇳🇱
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP3576128
- Aktenzeichen
- EP18174621
- Anmeldetag
- 28. Mai 2018
- Veröffentlichung
- 4. Dezember 2019
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01J37/317H01J37/28H01J37/12H01J37/147H01J37/073
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- ASML Netherlands B.V.
- Land
- 🇳🇱 Niederlande
🇳🇱
ASML
Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.
3.336 Patente in unserer Datenbank
Fachgebiete
Vertreten von
Peters, John Antoine
Veldhoven, Niederlande
167
Patente gesamt
11
Fachgebiete
1
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Schwerpunkte
Weitere Vertreter
-
ASML Netherlands B.V
ASML Netherlands B.V · Veldhoven