Prozessstabile Überlagerungsmetrologie auf Basis Optischer Scatterometrie
EP3577444
Art A1
11. Dezember 2019
Anmelder: KLA-Tencor Corporation 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP3577444
- Aktenzeichen
- EP18761291
- Anmeldetag
- 1. März 2018
- Veröffentlichung
- 11. Dezember 2019
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- G01N21/88G01N21/47G01N21/95G03F7/20
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- KLA-Tencor Corporation
- Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
KLA Corporation
US-amerikanisches Unternehmen (frühere Firmierung KLA-Tencor), das Prozesskontroll- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung entwickelt.
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