Waferausrichtungsverfahren und System

EP3577679 Art B1 9. November 2022

Anmelder: Illumina, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP3577679
Aktenzeichen
EP17894865
Anmeldetag
20. Dezember 2017
Veröffentlichung
9. November 2022
Erteilung
9. November 2022
Rechtsraum
EP
IPC
H01L21/02H01L21/68H01L21/677B23K26/03B23K26/08B23K26/324B23K26/38B23K26/402B23K101/40B23K103/00B23K26/21
Offizieller Volltext

Abstract

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

Anmelder

Firma
Illumina, Inc.
Land
🇺🇸 USA
🇺🇸 Illumina

US-amerikanisches Unternehmen mit Sitz in San Diego, Kalifornien, führender Hersteller von Systemen zur DNA-Sequenzierung und Genanalyse.

1.155 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik

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